1、尺寸：6英寸圆片，向下兼容4、2、1英寸；

2、产量：1~ 20 片/批；

3、工艺类型：干氧（O2）→湿氧（H2O蒸汽）→干氧工艺；

4、温度控制范围：500℃～1100℃；

5、温控区长度：200mm；

6、温控精度：≤±1℃，800℃以上≤±1℃（炉管方向）；

7、炉体升降温速率：最大升温速率12℃/分钟；

8、气体管路：流量计控制工艺气体流量，保护气体由浮子流量计控制；

9、推舟方式：采用悬臂杆，全自动送片机构；

10、温控方式：具有全自动升降温及恒温功能；

11、保护功能：具有超温、热短路、流量偏差、排风、冷却水缺液报警等保护功能；

12、工艺控制：工艺过程由工控计算机全自动控制，存储不少于 50条工艺曲线；

13、电源：380VAC/50Hz，25KW；

14、重量：800Kg；

15、机器外形尺寸：W3000mm×H1700mm×D1000mm。