1、尺寸：8英寸圆片，向下兼容6、4、2英寸

2、产量：1~ 60 片/批

3、工艺类型：可满足干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、扩散等

4、温度控制范围：700℃～1250℃

5、温控区长度：600 mm～800mm

6、温控精度：≤±0.5℃（700℃～1250℃）

7、单点温度稳定性：≤±0.5℃/24h（1100℃）；

8、炉体升降温速率：最大升温速率15℃/分钟；

9、气体管路：流量计控制工艺气体流量，保护气体由浮子流量计控制；

10、推舟方式：全自动送舟机构；

11、舟数量：3个；

12、保护功能：具有超温、断偶、热偶短路、气体流量偏差报警和保护功能；

13、工艺控制：工艺过程由工控计算机全自动控制，存储不少于 100条工艺曲线；

14、电源：380VAC/50Hz，120KW；

15、重量：3500Kg；

16、机器外形尺寸：W5000mm×H2300mm×D1300mm。