• 微纳电路原子沉积机ALD150 产品型号:ALD150
    微纳电路原子沉积机
详细内容

1、基片尺寸:6吋及以下;

2、样品高度:≤6mm

3、反应腔:氮气保护的高温密封系统;

4、腔体烘烤温度:RT200℃可控,控制精度±1;

5、沉积模式:连续模式、停流模式;

6、前驱体输运系统:标准 2 路前驱体管路,1 路为常温源,1 路为加热源;

7、前驱体源瓶:50cc 不锈钢标准源瓶;

8、沉积均匀性:Al2O3 均匀性≤±1%

9、系统总控:人机界面及全自动控制程序;

10、电源 :220VAC/50Hz3.3KW

11、机器重量:400kg

12、机器尺寸:W1110 mm ×D610 mm ×H1210 mm

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