1、测量尺寸：≤120mm；

2、测量材料：微纳半导体、光学镀膜、薄膜光伏、电极材料等；

3、光谱种类：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱；

4、光线入射角：固定角；

5、光谱波长：400-800nm；

6、单次测量时间：＜10s；

7、膜厚重复精度：优于0.01nm；

8、光斑范围：2-4mm（大光斑）；

9、折射率重复精度：0.001；

10、聚焦功能：手动找焦；

11、电源：220VAC/50Hz，300W；

12、机器重量：150kg；

13、机器尺寸：D320mm× W620mm×H530mm。