1、样品直径：Φ≤90mm；

2、样品厚度：≤20mm；

3、样品平移：XY移动范围为25mm*25mm，移动精度可达1um；

4、扫描范围：XY最大扫描范围20um*20um，Z最大扫描范围2.5um；

5、扫描角度：0.6Hz~30Hz，扫描角度0~360°，可进行任意角度扫描；

6、扫描速率：支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速；

7、工作模式：接触模式AFM、动态力模式(DAFM)、F-Z力曲线测量模式、RMS-Z曲线测量模式；

8、减震方式：采用弹簧悬挂式的减震方式，RMS噪音水平<0.05nm；

9、电源：220VAC/50Hz，500W；

10、机器重量：120kg；

11、机器尺寸：D480mmx W420mmxH730mm。